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液源柜

液源柜（CDM）是通过高压氮气将化学品桶或储罐内的化学品液体经由VMB阀箱输送到各个工艺机台的输送设备。

液源柜（CDM）是通过高压氮气将化学品桶或储罐内的化学品液体经由VMB阀箱输送到各个工艺机台的输送设备。

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